1、电子特气砷烷(体积分数≥99.999%)的合成、提纯、充装和钢瓶处理; 2、电子特气磷烷(体积分数≥99.999%)的提纯、充装和钢瓶处理; 3、超高纯电子化学品前驱体正硅酸乙酯TEOS(金属离子计质量分数≥99.9999999%)的提纯、过滤、充装、钢瓶处理; 4、电子特气六氟-1,3-丁二烯体积分数≥99.99%)的提纯、充装、钢瓶处理; 5、电子特气高纯乙炔提纯至电子级(体积分数≥99.99%)的研发; 6、电子特气羰基硫(体积分数≥99.99%)的合成、提纯、充装; 7、电子特气溴化氢(体积分数≥99.999%)、一氟甲烷(体积分数≥99.999%)、八氟环丁烷(体积分数≥99.999%)的提纯、充装; 8、高纯二氧化碳(体积分数≥99.999%)的提纯、充装; 9、高纯笑气(体积分数≥99.999%)的提纯、充装; 10、超纯氨(体积分数≥99.9999%)的提纯和充装; |